電阻爐可采用多溫區(qū)獨立控溫,溫度均勻性好;
電阻爐采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術,能在高溫條件下長時間穩(wěn)定使用,也可采用感應加熱方式;
可選配全密閉馬弗,密封效果好,抗污染能力強;
多級高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,易清理;
適于工藝氣氛:真空/CH4/NH3/H2/N2/Ar/空氣。
參數(shù)\型號 | HVP-060609 | HVP-101015 | HVP-121225 | HVP-161633 |
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm) | 600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2500 | 1600×1600×3300 |
最高溫度(℃) | 1800 | 1800 | 1800 | 1800 |
溫度均勻性(℃) | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協(xié)議為準。
結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質:石墨/CFC
熱電偶:C分度號
電源:KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)