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碳化硅化學氣相沉積爐
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可用于材料的表面涂層、基體改性、復合材料制備等
客戶名稱:
中國科學院上海應用物理研究所
設備名稱:
碳化硅化學氣相沉積爐
規(guī)格型號:
VCVD-0305-SiC
加工物料:
碳化硅制品
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